2026第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会

当前，碳化硅（SiC）作为第三代半导体核心材料，在新能源汽车、光伏储能、5G通信、AI大数据、半导体先进封装、航空航天等领域快速渗透，已成为全球半导体产业的前沿制高点。在“中国制造2025计划”和“十四五”规划中均被列为重点发展领域，但我国与国际先进水平相比，在碳化硅晶体缺陷控制、生长速率提升、加工精度优化、良品率改善等关键技术环节仍存在差距，亟需通过产学研协同破解难题。

在此背景下，关键材料与制备工艺的协同创新成为突破瓶颈的核心路径之一。为加快推动我国SiC产业技术突破与成果转化，中国粉体网将于2026年5月28日在安徽合肥举办“第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会”，大会将汇聚国内行业专家、学者、技术人员、企业界代表围绕晶体生长工艺、关键原材料、生长设备及应用、碳化硅晶片切、磨、抛技术等方面展开交流探讨。

会议时间：

2025年5月28日

会议地点：

安徽·合肥

主办单位：

会议主题：

1、碳化硅半导体产业现状、政策导向与未来市场展望

2、大尺寸（8 英寸及以上）SiC 晶体生长技术难点及突破路径

3、SiC 单晶生长用高纯碳粉与硅粉的纯度控制（杂质去除）及制备工艺

4、碳化硅晶体生长装备（长晶炉）关键部件（保温层、加热系统）应用进展

5、碳化硅衬底研磨 / 抛光工艺优化及专用耗材（磨料、抛光液）技术创新

6、SiC/TaC 涂层制备工艺及其在晶体生长设备中的应用性能

7、第三代半导体碳化硅的先进切割技术（机械切割、等离子切割）对比

8、激光技术（3D 激光隐切、飞秒激光）在碳化硅切割及划片上的应用与损耗控制

9、高平整度 SiC 衬底化学机械抛光（CMP）技术研究与良率提升

10、8 英寸碳化硅外延材料生长核心工艺（温度、压力控制）与关键装备选型

11、碳化硅衬底及外延层缺陷（微管、位错）检测技术与自动化设备应用

12、碳化硅晶片清洗工艺（超声清洗、化学清洗）与表面洁净度控制

13、SiC 晶体加工关键设备（抛光机、检测设备）国产化进程与性能对标

14、晶圆切割设备市场现状、技术趋势及国产替代案例分析

15、立方 SiC 单晶液相法生长的界面稳定性与晶体质量调控

16、车规级 SiC 晶圆可靠性测试（AEC-Q102 认证）适配技术

17、SiC 晶体生长控制过程状态实时监测（温度、压力传感器）系统开发

18、碳化硅全产业链供应链（材料 - 设备 - 加工 - 应用）协同整合模式

参会对象：

• 半导体材料领域科研机构（高校、中科院研究所）专家、学者及研究生
• SiC 晶体生长、衬底制备、晶圆加工企业的技术负责人、研发工程师、生产管理人员
• 高纯碳粉与硅粉、晶体生长设备、切割/ 抛光设备及耗材（磨料、抛光液）供应商代表
• 新能源汽车、光伏逆变器、5G 基站、储能系统等下游应用企业的研发、采购负责人
• 政府相关主管部门（工信、科技系统）、产业园区、投资机构及行业协会相关人员

特色活动：

大会征集参会企业相关技术合作、产品采购，工艺方案等需求进行现场采配活动，相关信息将进行展板展示，提高现场沟通交流效率！

征集内容包含但不限于以下几点：

1、行业投资、融资需求

2、科研成果转化

3、产品工艺问题解决方案

4、原料、设备、仪器采购需求

大会赞助：

1、协办赞助（含展位、企业致辞，LED大屏广告，视频播放，企业报告等）

2、晚宴赞助（含展位、晚宴大屏LOGO展示、晚宴致辞、主持人口播广告等）

3、其它赞助（资料袋、茶歇、椅背广告、胸牌广告赞助等）

4、展位展示（展示桌椅+展位背景墙广告）

会议费用：

2500元/人
费用包含：会务 资料 茶歇  用餐  晚宴等（住宿自理）；

往届参会单位

华为
比亚迪
吉利汽车集团
浪潮集团
天通控股股份有限公司
安徽芯塔电子科技有限公司
国家自然科学基金委员会
中国科学院物理研究所
西安交通大学
北京科技大学
南京大学
中国地质大学（武汉）
华润集团
三安光电
日本TEL
PVA TePla 中国
翼同半导体（深圳）有限公司
合肥芯谷微电子股份有限公司
佳邦科技股份有限公司
北京英创力科技有限公司
梅州市奔创电子有限公司
济宁瑞芯半导体有限公司
苏州秋水半导体科技有限公司
湖北芯火半导体科技有限公司
中环领先
山西烁科晶体有限公司
合肥露笑半导体材料有限公司
河北同光半导体股份有限公司
广州南砂晶圆半导体技术有限公司
烟台睿创微纳技术股份有限公司
浙江晶越半导体有限公司
北京晶飞半导体科技有限公司
北京中电科电子装备有限公司
哈尔滨科友半导体
北京北方华创微电子装备有限公司
江苏超芯星半导体有限公司
青禾晶元半导体科技（集团）有限责任公司
宁波兰辰光电有限公司
苏州三光科技股份有限公司
湖南顶立科技股份有限公司
江苏新越半导体科技有限公司
浙江博来纳润电子材料有限公司
江苏宇佳智能装备有限公司
河北普兴电子科技股份有限公司
英凌半导体设备（苏州）有限公司
宁波合盛新材料有限公司
上海景鸿科谱光电科技有限公司
山东力冠微电子装备有限公司
常州臻晶半导体有限公司
杭州晶驰机电有限公司
中国电子科技集团公司第二研究所
武汉金顿激光科技有限公司
沈阳恒进真空科技有限公司
嘉兴晶丰芯驰半导体材料有限公司
合丰精密机械(常熟)有限公司
浙江吉进科技有限公司
苏州思体尔软件科技有限公司
苏州博宏源设备股份有限公司
江苏优普纳科技有限公司
上海昌润极锐超硬材料有限公司
元创(广东清远)精密科技有限公司
湖北重泰研磨工具有限公司
昆山顺之晟精密机械有限公司
杭州祥生砂光机制造有限公司
神通半导体科技（南通）有限公司
苏州有为光电科技有限公司
常州常耀半导体科技有限公司
湖南宇晶机器股份有限公司
嵊州市西格玛科技有限公司
深圳市志橙半导体材料股份有限公司
赫德碳素材料（浙江）有限公司
济宁特炭新材料有限公司
河南省豫星碳材有限公司
陕西德信祥特材科技有限公司
江苏阿拉丁高温材料有限公司
合肥科晶材料技术有限公司
云南祺晶昕光半导体设备有限公司
河南四方达超硬材料股份有限公司
河南天马新材料股份有限公司
超硬材料产业技术研究院
青岛键锋翔金刚石工具有限公司
河南亚龙金刚石制品股份有限公司
启东蓝威金刚石科技有限公司
河南路纳尔新材料有限公司
昆山芯硕半导体有限公司
湖南昌诺新材料有限公司
苏州瑞霏光电科技有限公司
苏州三颗星精密机械有限公司
江苏创仕澜传输科技有限公司
广州三义激光科技有限公司
宁波大艾激光科技有限公司
苏州首镭激光科技有限公司
苏州德龙激光股份有限公司
德米特(苏州)电子环保材料有限公司
剑芯光电（苏州）有限公司
青鼎（苏州）装备有限公司
赣州巨杉稀土有限公司
苏州贝达新材料科技有限公司
苏州星翰新材料科技有限公司
贺利氏电子技术（苏州）有限公司
常州玉利光电科技有限公司
江苏波长光电科技有限公司
江西磐盟半导体科技有限公司
深圳市新嘉航科技有限公司
中微精仪科技（深圳）有限公司
广州多浦乐电子科技股份有限公司
成都晶柱科技有限公司
中国电子科技集团公司
安徽珂玛格机电设备有限公司
千鼎实业（深圳）有限公司
威硬精密东莞科技有限公司
艾米新材（东莞）有限公司
科毅科技（东莞）有限公司
深圳市梦启半导体装备有限公司
东莞市森烁科技有限公司
上海科弗新材料科技有限公司
上海矽乾电子科技有限公司
上海韵申新能源科技有限公司
北京微法尔半导体科技有限公司
北京华丞电子有限公司
北京北仪优成真空技术有限公司
中科红外（北京）科技有限公司
北京中电科电子装备有限公司
河南福淮半导体材料有限公司
青岛芯笙微纳电子科技有限公司
湖南芯易德科技有限公司
湖州源沁新材料有限公司
香河永泰电子器件有限公司
圣班戈
安徽汇岭科技有限公司
北京索通新动能科技有限公司
藏锋科技有限公司
重庆柒菱智能科技有限公司
乐家(中国)有限公司
江苏芯创微半导体技术有限公司
洛阳艾科森仪器设备有限公司
山东华特磁电集团股份有限公司
山东金鸿新材料股份有限公司
上海至纯系统集成
西安博尔新材料有限责任公司
苏州极钻纳米科技有限公司
上海气立可气动设备有限公司
苏州晶湛半导体有限公司
大连众诚科技有限公司
浙江华友钴业股份有限公司
HORIBA
Eion Technologies Inc.
大聯大控股（中國）有限公司
中科大少年班
苏州科斗精密机械有限公司
常州高凯电子有限公司
上海微谱检测科技集团股份有限公司
细川密克朗
郑州大学
福州大学
齐鲁工业大学
江苏扬威微电子有限公司
上海璞岩精密设备有限公司
上海浩人国际贸易有限公司
上海浩扬实业发展有限公司
江苏英吉润滑科技有限公司
无锡海飞凌科技有限公司
常州博研科技有限公司
南京麦禾智能科技有限公司
昆通（重庆）电子科技有限公司
中研颗精密机械(苏州)有限公司
郑州嵩山电热元件有限公司
上海迈克孚生物科技有限公司
上海知明鑫材料科技有限公司
陕西擎公科技工程有限公司
山东华信工业科技有限公司
东莞市仟净环保设备有限公司
杭州艾格机械有限公司
合肥孚烜自动化科技有限公司
上海知明鑫材料科技有限公司
江苏芯梦半导体设备有限公司
苏州施密科微电子设备有限公司
江苏雷博微电子设备有限公司
安徽凯盛应用材料有限公司
沈阳星膜科技有限公司
枣庄市鑫国新能源有限公司
宝得韦半导体科技（上海）有限公司
上海微谱检测科技集团股份有限公司
精效悬浮（苏州）科技有限公司
SMC自动化有限公司
雷昀精工（苏州）有限公司
TS电器有限公司
浙江金琨西立锆珠有限公司
嘉兴昇望科技有限公司
芜湖中氢新能源科技有限公司
上海展悦电子科技有限公司
南通沃晨电子科技有限公司
苍溪县经济合作中心
无锡星洲工业园区开发股份有限公司
苏州工业园区厚盛投资管理有限公司
河南创研新材料科技有限公司
淄博华鸣新材料有限公司
深圳市汇川技术股份有限公司
河北敬业增材制造科技有限公司
安徽珂玛格机电设备有限公司
西安华合德科技有限公司
艾吉森净化科技（苏州）有限公司
中软国际科技服务有限公司
凯石资本
长沙萨普新材料有限公司
贝耐特光学科技（苏州）有限公司
江阴皓睿光电新材料有限公司
上海复创芯半导体科技有限公司
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