深圳市真空学会2015年学术年会

【会议日程】

时间	内 容
9:15	会员大会
10:00	1、如何从电源控制上提高膜层质量和工艺窗口 （邀请报告） 报告人：田修波 教授（哈尔滨工业大学）
10:25	2、氧化锌基光电材料制备、物性及相关器件的研究（邀请报告） 报告人：吕有明 教授（深圳大学）
10:50	3、20%以上转换效率CIGS薄膜光伏器件的制作工艺和器件性能（邀请报告） 报告人：杨春雷 研究员（中科院深圳先进技术研究院）
11:15	4、高性能工具涂层关键技术研究与探讨（邀请报告） 报告人：郎文昌 博士 （温州市机电产品表面改性重点实验室副主任）
11:35	5、硬质薄膜残余应力的相关研究 报告人：赵升升 博士 （深圳职业技术学院）
	午餐
14:00	6、离子增强溅射技术中的辅助阳极探讨 （邀请报告） 报告人： 张以忱 教授（东北大学）
14:25	7、类脑计算用人工突触材料与器件（邀请报告） 报告人： 曾飞 副教授 （清华大学）
14:50	8、飞越高可靠性真空泵 报告人： 毛兆勇 经理（浙江飞越机电有限公司）
15:10	9、国产分子泵最新进展 报告人：张照薪 经理 （北京中科科仪股份有限公司深圳分公司）
	茶歇
15:45	10、EPVD电子束增强阴极电弧镀膜工艺与设备（邀请报告） 报告人： 陈大民 董事长（大连纳晶科技有限公司）
16:10	11、热电薄膜及薄膜热电器件的研究进展 报告人：郑壮豪 讲师（深圳大学）
16:30	12、基于界面修饰的有机及其杂化光电子器件 报告人： 邓先宇 副教授（哈尔滨工业大学深圳研究生院）
16:50	13、新型金属等离子体源的研制及其背后的物理问题 报告人：吴忠振 研究员 （北京大学深圳研究生院）
17:10	14、离子镀膜技术进展 报告人：王福贞 教授 （北京联合大学）
18:00	晚宴

【会议嘉宾】

邀请报告人简介

田修波，

哈尔滨工业大学教授，博士生导师，先进焊接与连接国家重点实验室副主任；离子束表面改性国际学术委员会（SMMIB）委员；中国真空学会常务理事；中国真空学会表面工程与冶金专委会副主任；中国机械工程学会表面工程专委会常务委员；中国力学学会等离子体专委会委员；中国真空学会薄膜专委会委员；美国IEEE Plasma Sci 2009年特刊、2010 年度特刊Guest editor真空杂志编委；真空科学与技术学报编委；2006 年度国家自然科学基金数理学部特邀评委委员；第十一届等离子体离子注入/沉积国际会议会议主席；第十七届离子束表面改性国际会议会议主席；第三届IEEE 纳电子国际会议Nano-Physics主题程序委员会主席。现为美国电子工程师学会（ IEEE ）和美国真空学会（ AVS ）会员，中国材料学会会员。主要研究方向为难焊材料表面改性焊接新技术与方法，等离子体-电子束加热、焊接新技术与方法，等离子体离子注入-沉积表面改性技术与方法，薄膜沉积与功能涂层制备技术与方法，高功率脉冲磁控溅射电源与放电技术，等离子体放电及鞘层控制理论，脉冲高压电源及等离子体表面处理设备。发表SCI 检索论文100 余篇，发明专利20 余项，主持自然基金项目4 项，主持总装项目2 项，参与973 项目1 项。研制的设备输出到香港、新加坡、土耳其、印度等等。

吕有明，

深圳大学教授，博士生导师。现任中国物理学会会员，中国物理学会发光委员会委员、《发光学报》编委；东北师范大学理学院兼职教授。先后利用MOCVD技术首次在ZnTe-ZnS超晶格中报道了具有ps开关时间的光学双稳特性，利用紫外光协助掺杂效率的技术，在国内首次研制出ZnSe/ZnCdSe蓝绿色激光二极管，利用MBE技术在国际上首次报道了在Al2O3衬底上制备出ZnO同质pn结并实现连续电泵浦的蓝紫色发光，利用PLD技术开发出制备柔性ZnO基透明导电薄膜的新技术，研制出ZnO异质pn结白光器件的新方法，开展了日盲紫外探测器、高迁移率薄膜场效应晶体管和纳米结构在新型太阳能电池中应用等方面的研究。近年来作为项目负责人主持完成了“863”、“973”、国家自然科学基金等20余项国家、省市级科研项目的研究；共发表学术论文200余篇，其中SCI收录100余篇，被SCI杂志他人引用1000余次；申请国家发明专利17项，授权7项；获省部级科技进步一等奖1项。2009年入选广东省“千百十”人才工程省级培养对象和深圳市地方级高层次专业人才。

杨春雷，

中国科学院深圳先进技术研究院研究员，2011年入选中科院“百人计划”。2005年毕业于香港科技大学物理系，获理学博士学位，并获香港“青年科学家奖”。2005年至2006年在香港科技大学做博士后研究。2006年获聘中山大学副教授，2007-2009年间在香港大学物理系任访问学者。2010年8月获聘为中科院深圳先进技术研究院研究员。主要从事化合物半导体的材料生长、器件制作以及光电特性的研究。研究兴趣包括半导体材料的MBE和MOCVD外延生长，半导体发光动力学和载流子输运过程，半导体中缺陷的表征和指认，半导体发光器件和光探测器件，半导体自旋电子学和自旋动力学等。已在Phys. Rev. Lett、 Phys. Rev. B 以及 Appl. Phys. Lett. 等国际杂志上发表了70多篇学术论文,论文总引用次数约2000多次；授权和申请铜基薄膜电池相关发明专利近20件。主持承担科技部、国家基金委和深圳市等研究项目10余项。先后获得香港科学会青年科学家一等奖，中山大学最佳教师奖，中国科学院彭赐灯奖学金，深圳市海外高层次人才（孔雀计划B类）等荣誉。

张以忱，

东北大学教授、博士生导师、《真空》杂志副主编、国家真空标准化技术委员会委员、国家真空技术装备工程实验室技术委员会委员、中国真空设备行业协会标准化技术委员会主任委员。主要研究方向：1）真空设备虚拟可视化设计方法；2）薄膜制备与表面改性技术；3）真空设备及工艺优化。承担并完成了包括国家自然科学基金、政府科技攻关项目在内的多项研究开发课题。主持的主要科研项目有：《离子注入形成单晶薄膜机理研究》、《ZDB真空镀膜玻璃镀膜设备及工艺开发》、《增强等离子体真空镀膜设备开发》、《ZJB-600c型罗茨真空泵开发》、《DRCT 型高效真空热风空调系统开发》、《高压电磁及超声复合场水处理技术研究》、《大型平面磁控溅射靶膜层均匀性及其仿真设计系统开发》等项目。曾获得以下奖项：辽宁省科学技术进步二、三等奖；冶金工业部科学技术进步二等奖；沈阳市科学技术进步二等奖；沈阳市人民政府星火一等奖；中国科学院科技进步三等奖；辽宁省建委科技进步一等奖等。申请并获得国家专利两项。先后获得东北大学教学成果一等奖、东北大学优秀教师、东北大学青年教师优秀教学工作者、第二届全国大学生机械创新设计大赛一等奖指导奖、第五届辽宁省普通高校大学生机械设计竞赛一等奖、东北大学优秀硕士论文指导教师、东北大学本科毕业设计优秀指导奖、东北大学机械学院最受毕业生欢迎教师等称号。出版的专著或主编教材有：《电子枪与离子束技术》、《真空材料》、《真空工艺与实验技术》、《真空镀膜技术》、《真空镀膜设备》、《真空系统设计》、国家规划教材《真空镀膜技术与设备》；合编出版的著作和教材有：《真空获得设备》、《真空技术》、《真空工程技术》、《机械工程材料实用手册》、《中国机械设计大典第2卷》等。在国内外学术刊物及学术会议上发表论文90余篇。

曾飞，

博士，清华大学材料学院副教授，2002年毕业于清华大学材料科学与工程系，获工学博士学位。2002年至今在清华大学材料学院工作，清华大学类脑计算中心成员。主要研究领域是功能薄膜材料与界面效应，现主攻方向是人工突触材料与器件，旨在为类脑计算提供新的基元。承担并完成了多项“973”、“863”、国防、国家自然基金及横向课题，发展出多种具有实用价值的新材料。任职以来发表SCI论文约200篇，SCI他引超过2200次，H因子31；授权国家发明专利15项；获国家自然科学二等奖（排名第二）、国家技术发明二等奖（排名第三）各1项，中国有色金属工业科技二等奖1项，获2009年教育部新世纪人才计划支持。

类脑计算是借鉴人脑信息处理方式，实时处理非结构化信息、具有学习能力的超低功耗新型计算系统。近年来，脑科学与类脑智能已成为世界各国研究和角逐的热点，美国、欧盟都相继启动相关研究计划，我国政府也高度重视脑研究，即将启动“中国脑计划”。中科院自动化所成立了类脑智能研究中心，清华大学成立“类脑计算研究中心”，汇集计算机、生物、材料、物理、微电子、自动化、电子工程等7个院系相关领域的科研人员，组成研究团队开展“类脑计算研究”。神经突触是人类大脑学习和记忆的基本单元，研制具有生物突触可塑性的人工突触材料与器件，将有力推动类脑计算研究的发展。

郎文昌，

博士，副研究员，1982年生，本科毕业于中南大学材料学院，硕博毕业于中国科学院金属研究所，师从闻立时院士，主要从事PVD硬质防护涂层设备与工艺开发研究，现任温州市机电产品表面改性重点实验室副主任，主要开展机电产品及工模具表面强化技术研发及推广应用。

【会议通知】

一年一度的深圳市真空学会2015年学术年会经过紧张的筹备，将于2015年11月14日在深圳大学隆重召开。会议邀请到东北大学、清华大学、中科院深圳先进技术研究院、深圳大学等多名专家作邀请报告，会议内容涵盖真空设备与真空技术，真空镀膜技术，功能薄膜与器件，能源薄膜与器件等多个领域，本次会议现已报名确定参加人数近百人。可以预期，本次会议将是深圳真空界的又一次盛会。

热忱欢迎各位理事、会员、团体会员单位的代表以及省内外从事真空领域科研、教学、开发、生产的专家、学者、研究生、技术人员以及相关企事业单位参加本次大会。

会议名称：深圳市真空学会2015年学术年会

会议时间：2015年11月14日

会议地点：深圳大学