首页>演讲嘉宾> 陈大鹏更新时间:2015-08-28

陈大鹏简历邀请出席

中国科学院微电子所研究员研究员陈大鹏照片 陈大鹏

陈大鹏,中国科学院微电子所研究员,副所长,博导,先后参与或者主持过多项国家集成电路重大专项、国家自然基金、863计划、973计划、科技攻关等课题;主要从事集成电路制造工艺技术研究,微细加工技术研究,MEMS技术研究。曾获得中组部首批科技创新创业领军人才(万人计划)支持和国务院专家津贴,2014年获得中科院杰出成就奖,现任中科院微电子研究所(以下简称微电子所)副所长兼任中科院物联网研究发展中心副主任。目前承担科研项目情况:(1)“九五”国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”;(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机(SCALPEL)”的子课题“投影电子束掩模研制”;(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”;(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”;(5)科技部863项目;(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”;(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”;(8)中科院知识创新方向性项目。

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